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ASMPT LASER1205 激光切割和開槽

2024-03-11
24431次
ASMPT LASER1205 激光切割和開槽

詳細(xì)介紹

LASER1205

激光切割與開槽

尺寸寬 x 深 x 高
1,500 x 2,000 x 2,200 mm

特色

  • 更改切割硅片材料 (厚度范圍從 10 μm 到 250 μm) 以及 DAF 或 FOW

  • 高精度和再現(xiàn)性 (< 1.5 μm)

  • 切割寬度窄 = (< 12 μm, 用于 100 μm 硅片上的多光束工藝

  • 熱影響區(qū)小 (厚度為 100 μm 時(shí), < 2 μm) ASMPT 硅片圖層 BMK

  • 由于系統(tǒng)概念設(shè)計(jì)專注于激光材料加工, 因此具有較高的 UPH (通常比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手快 50%)

    • 超短輸送時(shí)間

    • 雙料盒站

    • 雙圖層和和清潔站

    • 即時(shí)監(jiān)控


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